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FIB聚焦離子束的技術1、聚焦離子束技術（FIB）聚焦離子束技術（FocusedIonbeam，FIB）是利用電透鏡將離子束聚焦成非常小尺寸的離子束轟擊材料表面，實現材料的剝離、沉積、注入、切割和改性。隨著納米科技的發展，納米尺度制造業
發布時間：2017-11-04 點擊次數：268
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聚焦離子束（FIB）技術介紹1.引言隨著納米科技的發展，納米尺度制造業發展迅速，而納米加工就是納米制造業的核心部分，納米加工的代表性方法就是聚焦離子束。近年來發展起來的聚焦離子束（FIB）技術利用高強度聚焦離子束對材料進行納米加
發布時間：2017-11-04 點擊次數：239
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FIB聚焦離子束曝光技術聚焦離子束也可以像電子束那樣作為一種曝光手段。離子束曝光有非常高的靈敏度，這主要是因為在固體材料中的能量轉移的效率遠遠高于電子。常用的電子束曝光抗蝕劑對離子的靈敏度要比對電子束高100倍以上。除了靈敏度高之外，離子束
發布時間：2016-07-27 點擊次數：103
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FIB聚焦離子束的應用FIB技術的在芯片設計及加工過程中的應用介紹：1.IC芯片電路修改用FIB對芯片電路進行物理修改可使芯片設計者對芯片問題處作針對性的測試,以便更快更準確的驗證設計方案。若芯片部份區域有問題,可通過FIB對此區域隔離或
發布時間：2016-07-27 點擊次數：128
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FIB聚焦離子束投影曝光技術的優點聚焦離子束投影曝光除了前面已經提到的曝光靈敏度極高和沒有鄰近效應之外還包括焦深大于曝光深度可以控制。離子源發射的離子束具有非常好的平行性，離子束投影透鏡的數值孔徑只有0.001，其焦深可達100μm，也就是
發布時間：2016-07-27 點擊次數：84
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FIB聚焦離子束的工作原理液態金屬離子源離子源是聚焦離子束系統的心臟，真正的聚焦離子束始于液態金屬離子源的出現，液態金屬離子源產生的離子具有高亮度、極小的源尺寸等一系列優點，使之成為目前所有聚焦離子束系統的離子源。液態金屬離子源是利用液態金
發布時間：2016-07-27 點擊次數：111
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美國科學家發明新型FIB聚焦離子束系統最近，美國科學家發明了一種能同時聚焦離子束（通常為帶正電荷的陽離子）和電子束的新系統，將離子束技術的運用范圍和效率又往前推進了一步。聚焦的離子束在半導體行業有著重要作用，可用來切割納米級結構，對光刻技術
發布時間：2016-07-27 點擊次數：81
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FIB聚焦離子束的透射電鏡制樣聚焦離子束(FIB)的透射電鏡制樣唐雷鈞謝進陳一鄭國祥宗祥福(復旦大學材料科學系,上海200433)亞微米IC芯片的發展,對于TEM在IC的失效分析和工藝監控過程中所擔負的工作提出了越來越高
發布時間：2016-07-27 點擊次數：51
