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          NX5000

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          NX5000

          • 所屬分類:FIB

          • 點擊次數:
          • 發布日期:2019/07/24
          • 在線詢價
          詳細介紹

          產品介紹:

          NX5000新型高分辨FIB-SEM雙束系統采用冷場發射電子槍和全新的Aquila α鏡筒,具有高分辨的觀察能力;同時大束流的離子槍和實時觀察功能使其具有超高的加工效率。獨特的第三束(Ar)加工可以避免樣品損傷,為超薄樣品和復雜的制備提供了新的解決方案,可以滿足納米材料、半導體材料、生物材料等多種樣品的快速、無損、精細加工。

          主要特點:  

          1.      高分辨冷場發射電子槍,實現高分辨觀察(0.7nm@15kV)

          2.      全新的Aquila α鏡筒和多探測器實現不同觀察目的

          3.      大束流(100nA)、高穩定性離子槍實現快速加工

          4.      實時觀察、多探針系統和7軸樣品臺等技術有效防止窗簾效應

          5.      第三束Ar的引入實現無損和超薄樣品的加工

          6.      多種沉積氣體可選

          7.      全自動TEM樣品制備

           

          應用領域:  

          納米材料微加工

          半導體及電子元器件加工

          生命科學


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