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創新型冷場發射電子槍具有超高分辨率和電子束穩定性
這種新型的冷場發射電子槍采用日立專利的“柔性閃爍”“Mild flashing”技術和全新改進的真空系統，在發射極尖端極大限度減少氣體分子附著。 發射極始終運行于“潔凈”的狀態，發射電流和電子束穩定性顯著提升。 即使在低加速電壓下，也可以得到高信噪比的SEM信號并進行高分辨觀察。 這些增強性能開辟了低電壓下元素微量分析的全新里程。
SU8200系統具備全新設計的頂端過濾器，可增強電子檢測特性。 通過選擇性地過濾非彈性散射電子和直接檢測特定能量的背散射電子，可實現良好的對比度。 這種選擇性的過濾，在提高低加速電壓下成分對比度方面尤為強大。樣品臺和樣品室的防震措施以及光學系統的優化有助于提高分辨率：15 kV時0.8 nm，1 kV時 1.1 nm。
特點：
創新型冷場發射槍可產生超高亮度和穩定的探針電流，適用于高分辨率、低電壓下觀察和元素分析
分辨率(1.1 nm/1 kV, 0.8 nm/15 kV)
超高真空發射槍和樣品室，將樣品污染降至最低
選配頂端過濾器，可實現良好的成分對比度
規格：
