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          高真空離子濺射儀

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          高真空離子濺射儀

          發布日期:2017-11-03 作者: 點擊:

          高真空離子濺射儀(日立離子濺射儀)

          1.打開總電源,打開氬氣開關(兩成保持在0.035Mpa左右,濺射時也要注意氬氣的流量)。

          2.按主機背面的開關按鈕,進入開機界面,根據提示進行下面一系列的操作。

          3.接下來儀器就開始自動洗靶,自動濺射,濺射結束后要稍等片刻,然后按stop放氣。待放氣操作完成后,開蓋,取出樣品。

          4.Target B type操作同上。

          不使用膜厚監控編輯

          1.其余操作步驟同上,但要根據自己的需要設置濺射電流和濺射時間(最長時間是4min),和循環次數(最多循環9次),按上下鍵設置時間。

          2.接下來儀器就開始自動洗靶,自動濺射,濺射結束后要稍等片刻,然后按stop放氣。待放氣操作完成后,開蓋,取出樣品。

          3.B靶操作同A靶。

          日立離子濺射儀


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