1. <tbody id="r2fet"></tbody>

      <nav id="r2fet"></nav>

        1. 柯岷國際貿易(上海)有限公司

          新聞分類

          產品分類

          聯系我們

          柯岷國際貿易(上海)有限公司

          手機:13812899557 (韓先生)

          座機:(0512)57385571

          手機:18706260499 (宋先生)

          座機:(0512)57385575

          傳真:(0512)57307742

          網址:www.charlesbivona.com

          地址:江蘇省昆山市春旭路18號聯彩中心802室


          FIB聚焦離子束的透射電鏡制樣

          您的當前位置: 首 頁 >> 新聞中心 >> 公司新聞

          FIB聚焦離子束的透射電鏡制樣

          發布日期:2016-07-27 作者: 點擊:

          FIB聚焦離子束的透射電鏡制樣

          聚焦離子束(FIB)的透射電鏡制樣 唐雷鈞 謝 進 陳 一 鄭國祥 宗祥福 (復旦大學材料科學系,上海200433) 亞微米IC芯片的發展,對于TEM在IC的失效分析和工藝監控過程中所擔負的工作提出 了越來越高的要求。許多方法和手段被用于解決TEM制樣這個問題[1]。FIB技術被證明為現今最有效的精確定位制樣的方法[2]。原有TEM制樣技術的定位減薄難,單次制樣成功率低,且對單一器件的定位能力差的難題,可通過電視監測和聚焦離子磨削的方法加以克服。利用這種技術,可以完成以往難以實現的IC芯片的精密定位制樣工作,使透射電鏡在亞微米級IC的分析中達到實用性階段。本文介紹該技術使用的具體方法。 實驗過程 實驗所用設備為美國fei.公司所生產的FIB200型聚焦離子束系統。 1.獲取特定目標:將需要分析的IC樣品與切成同樣大小的陪片和玻璃膠合在一起。此過程的關鍵是粘合玻璃和IC樣品的粘合劑必須能溶解于有機溶劑。利用“劈”形制樣技術[3]將IC樣品減薄至20~30Λm。此時的被分析目標應落于樣品的中心位置。 2.FIB的減薄過程:FIB用于TEM制樣的工作原理是:位于離子腔頂端的液態鎵金屬源,經 較強的電場抽取出帶正電荷的鎵離子。加速后的高能離子束與樣品碰撞、濺射以達到減薄試樣的目的。整個過程可分為對試樣的初步減薄和精密減薄兩個部分。在進行減薄之前,要在目標位上淀積一層1Λm~2Λm厚的Pt薄膜,用于保護試樣的目標區域(見圖1)


          在初步減薄階段,我們選用了Box濺射模式,我們從20Λm開始對試樣進行等厚度的雙面減薄,減薄深度為3.5Λm。離子束的減薄選框可定義在距試樣目標5Λm~2Λm的位置。離子束強度從6nA~3nA進行遞減。當試樣減薄至距目標1~2Λm時,就進入了精密減薄區域。這時首先要將樣品臺傾轉1°,用以抵消因離子束平行入射而形成試樣上薄下厚的現象。開始減薄時可利用強度為1nA的離子束,凹坑深度定義到2Λm。在減薄過程中,用監視器不斷監控減薄過程,圖像可放大至12k~20k(圖2),當距離目標區域0.1~0.35Λm時,將離子束的強度減至350pA.,用

          Line濺射模式進行線切割,將離子束的切割線條逐漸上移逼近目標。當樣品厚度<0.1Λm時,我 們將樣品臺傾轉了45°,發現要觀察的圖型已經達到(圖3),這時就可將試樣取出進行TEM觀察了


          Line濺射模式進行線切割,將離子束的切割線條逐漸上移逼近目標。當樣品厚度<0.1Λm時,我 們將樣品臺傾轉了45°,發現要觀察的圖型已經達到(圖3),這時就可將試樣取出進行TEM觀察了

          。 結果與討論 從圖4的TEM照片觀測,我們可以獲得一個EEPROM的完整結構像。其中的隧道氧化層的厚度為80埃,控制柵、浮柵中多晶晶粒清晰可辨。從圖5和圖6,我們能觀察到控制柵和浮柵之間的隔離層中三層不同材料的厚度,并能獲得多晶晶粒的高分辨像,它可用來對隔離層進行厚度定標。通過以上實驗結果我們能得出這樣的結論,即FIB制成的樣品完全符合TEM觀察的厚度要求。對比普通的TEM制樣方法,FIB技術有速度快、精確度高、成品率高的特點。它能解決大多數集成電路的TEM制樣問題。所以它已廣泛被國外研究機構所采用。現在我們正利用這項技術服務于中國的微電子制造企業和科研領域.日立電子顯微鏡




          本文網址:http://www.charlesbivona.com/news/220.html

          相關標簽:FIB聚焦離子束

          上一篇:沒有了
          下一篇:透射式電子顯微鏡的結構與原理

          最近瀏覽:

          在線客服
          分享 一鍵分享
          中国体彩网