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能譜儀(EDS,Energy Dispersive Spectrometer)是用來對材料微區成分元素種類與含量分析,配合掃描電子顯微鏡與透射電子顯微鏡的使用。
中文名 能譜儀 外文名 EDS,Energy Dispersive Spectroscopy 針對對象 材料微區成分元素種類與含量 探 頭 一般為Si(Li)鋰硅半導體探頭
原理
各種元素具有自己的X射線特征波長,特征波長的大小則取決于能級躍遷過程中釋放出的特征能量△E,能譜儀就是利用不同元素X射線光子特征能量不同這一特點來進行成分分析的。
性能指標
探頭:一般為Si(Li)鋰硅半導體探頭
探測面積:幾平方毫米
分辨率(MnKa):~133eV
探測元素范圍:Be4~U92
測器原理
當X射線光子進入檢測器后,在Si(Li)晶體內激發出一定數目的電子空穴對。產生一個空穴對的最低平均能量ε是一定的(在低溫下平均為3.8ev),而由一個X射線光子造成的空穴對的數目為N=△E/ε,因此,入射X射線光子的能量越高,N就越大。利用加在晶體兩端的偏壓收集電子空穴對,經過前置放大器轉換成電流脈沖,電流脈沖的高度取決于N的大小。電流脈沖經過主放大器轉換成電壓脈沖進入多道脈沖高度分析器,脈沖高度分析器按高度把脈沖分類進行計數,這樣就可以描出一張X射線按能量大小分布的圖譜。
使用范圍
1、高分子、陶瓷、混凝土、生物、礦物、纖維等無機或有機固體材料分析;
2、金屬材料的相分析、成分分析和夾雜物形態成分的鑒定;
3、可對固體材料的表面涂層、鍍層進行分析,如:金屬化膜表面鍍層的檢測;
4、金銀飾品、寶石首飾的鑒別,考古和文物鑒定,以及刑偵鑒定等領域;
5、進行材料表面微區成分的定性和定量分析,在材料表面做元素的面、線、點分布分析。日立離子濺射儀